1.气体管路连接系统
2.气柜管路组成
3.磷源恒温槽管路组成
4.工艺气体通入炉管管路组成
5.炉门氮气管路炉门抽真空管路
2.气体控制部分
1.控制通入工艺气体气动阀的电磁阀
2.控制工艺气体气动阀（NC）
3.反映实时的工艺气体流量—MFC质量流量计（sccm每分钟标准毫升slm每分钟标准升）
4.控制工艺气体I/O模块（G.G.A-A4）
5.Gas控制系统
3.气体安全监测
1.磷源压力检测2.磷源温度监测以及液位检测
3.炉管数显超压检测（ZSE80F-A2-V-X）
4.TGA炉门压力检测
5.炉管压力检测（状态由CMS模块输入）
6.磷源泄露检测
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